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Integrated piezoresistive sensing for feedback control of compliant MEMS

机译：集成压阻感测，用于兼容MEMS的反馈控制

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作者
Messenger, Robert K.;
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作者单位

Brigham Young University;

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授予单位 Brigham Young University;
学科
学位 Ph.D.
年度 2007
页码 69 p.
总页数 69
原文格式 PDF
正文语种 eng
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