University of Maryland College Park;
机译:高混合半导体制造过程中运行对运行控制算法的概述
机译:线性和非线性半导体工艺的自适应运行优化控制器
机译:线性和非线性半导体工艺的自适应运行优化控制器
机译:半导体制造过程中基于EWMA的运行对运行控制的控制性能监视
机译:面向对象的设计和用于半导体制造过程的优化运行间质量控制器的实现。
机译:通过强大的开环控制来提高CHO培养物的批次间重现性
机译:高斯过程回归,用于半导体制造中启用虚拟计量的运行到运行控制