University of Minnesota.;
机译:在氧化锌,氧化锡和锌 - 氧化锌的原子层沉积中不完全消除前体配体
机译:β-二酮酸金属前体与O自由基在金属氧化物原子增强原子层沉积中的表面反应动力学
机译:原子层沉积与前驱体分子结构的生长特性相关性:以氧化锌锡为例
机译:镓掺杂氧化锌透明电导氧化物膜的原子层沉积
机译:金属和金属氧化物的原子层沉积和成核:选择性区域反应和保形3D处理
机译:氧化锌原子层沉积的研究第一性原理的水脉冲反应
机译:从前体化学到气体传感器:来自氧化锌层的等离子体增强的原子层沉积工艺,用于阻气和传感器应用的非渗透锌前体