The University of Arizona.;
机译:基于化学气相沉积衍生的单层MoS2的高迁移率顶栅场效应晶体管和集成电路
机译:用于集成电路的硅基介电膜的高密度等离子体化学气相沉积
机译:在化学气相沉积过程中,Tris(2,4-pentanedionato)铝与水蒸气之间反应生成氧化铝的演化气体分析研究
机译:在超级合金上进行致密α-氧化铝涂层的化学气相沉积过程的研究
机译:碳化硅化学气相沉积,原位掺杂和器件制造。
机译:使用化学气相沉积工艺的表面纳米形貌控制
机译:集成电路制造中化学气相沉积过程的研究
机译:化学气相沉积在集成电路自动处理中的应用