新型晶粒自动检测装置与控制系统设计

目录

声明

摘要

1绪论

1．1．1研究背景

1．1．2研究意义

1．2．1国内外研究现状

1．2．2晶圆检测装置未来发展趋势

1．3．1主要研究内容

1．3．2组织结构

2检测装置系统分析与方案设计

2．1检测装置的工作原理及流程

2．2检测装置和控制系统的总体设计方案

2．2．1检测装置设计方案

2．2．2控制系统设计方案

2．3本章小结

3检测装置机械结构设计

3．1机械结构整体设计

3．2．1 x-y滚珠丝杠确定

3．2．2电机确定

3．2．3运动机构三维建模设计

3．3．1工业相机安装结构设计

3．3．2气路设计

3．4本章小结

4下位机PLC控制系统设计

4．1可编程控制器简介

4．2．1 PLC控制系统设计基本原则

4．2．2 PLC控制系统设计的一般步骤

4．3．1 PLC选型

4．3．2 PLC与计算机通信

4．4．1 PLC程序设计步骤

4．4．2 PLC程序具体设计与实现

4．4．3 PLC控制器与各单元电气连接

4．5本章小结

5上位机监控界面设计

5．1组态王简介

5．2．1创建组态监控界面一般步骤

5．2．2组态监控界面开发过程

5．3创建监控界面

5．3．1创建欢迎画面

5．3．2创建监控画面

5．3．3创建历史数据查询画面

5．4上位机监控界面使用流程

5．5本章小结

6系统测试分析

6．1下位机PLC控制系统与上位机监控界面测试分析

6．2检测装置定位精度与工作效率测试分析

7总结与展望

7．1总结

7．2论文创新点

7．3不足与展望

参考文献

9攻读硕士学位期间发表论文情况

致谢