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二氧化钒及其金纳米颗粒复合结构的共振特性研究

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第1章 绪论

1.1 贵金属的局域表面等离子体共振现象

1.2 贵金属LSPR的应用

1.2.1生物传感器

1.2.2 超材料电磁波吸收器

1.3 二氧化钒简介

1.4 二氧化钒的应用

1.4.1智能窗

1.4.2 光开关

1.4.3 可调谐电磁波吸收器

1.5 二氧化钒与贵金属复合结构的研究现状

1.6 本论文的研究意义和内容

第2章 基本制备方法及分析方法

2.1 二氧化钒薄膜的制备方法

2.1.1 溶胶凝胶法

2.1.2 聚合物辅助沉积法

2.1.3 脉冲激光沉积法

2.1.4 磁控溅射法

2.2 贵金属纳米颗粒的制备方法

2.2.1电子束曝光法

2.2.2 纳米球掩膜刻蚀法

2.3 测试仪器与分析方法

2.3.1场发射扫描电子显微镜

2.3.2 四探针电阻测试系统

2.3.3 紫外-可见-近红外分光光度计

2.3.4 拉曼光谱仪

第3章 二氧化钒纳米颗粒共振特性的研究

3.1连续二氧化钒薄膜及离散二氧化钒纳米颗粒的制备

3.1.1 蓝宝石衬底的清洗

3.1.2 金属钒薄膜的沉积

3.1.3 快速热处理及稀硫酸刻蚀

3.2 二氧化钒纳米颗粒的共振特性对光学透过率的影响

3.3 二氧化钒纳米颗粒间距对其共振特性的影响

3.4 本章小结

第4章 二氧化钒薄膜与金三角阵列复合结构共振特性的研究

4.1 复合结构的制备

4.2 全包覆三层VO2/Au/VO2与半包覆双层VO2/Au和Au/VO2复合结构的共振特性研究

4.3 二氧化钒薄膜厚度对VO2/Au/VO2复合结构共振特性的影响

4.4 本章小结

第5章 总结与展望

5.1 总结

5.2 工作展望

参考文献

发表论文和参加科研情况说明

致 谢

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著录项

  • 作者

    郭津榜;

  • 作者单位

    天津大学;

  • 授予单位 天津大学;
  • 学科 微电子学与固体电子学
  • 授予学位 硕士
  • 导师姓名 梁继然;
  • 年度 2018
  • 页码
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 TP2TB4;
  • 关键词

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