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基于MEMS技术的薄膜换能元及其电爆性能研究

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作者
张宇新;
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作者单位

电子科技大学;

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授予单位电子科技大学;
学科微电子学与固体电子学
授予学位博士
导师姓名李言荣;
年度 2018
页码
总页数
原文格式 PDF
正文语种中文
中图分类各科药物;基因工程（遗传工程）;
关键词
MEMS技术; 薄膜;
入库时间 2022-08-17 11:21:36

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