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缩略语对照表
第一章 绪论
1.1 MOCVD简介
1.2 MOCVD设备与控制的发展现状
1.3 MOCVD温度控制系统
1.4本文的行文安排
第二章 MOCVD温度控制系统的建模与仿真
2.1 COMSOL软件与热力学基础介绍
2.2 MOCVD温度控制系统的建模与仿真
2.3 COMSOL与MATLAB联合仿真
2.4加热功率对MOCVD温度控制系统的影响
2.5本章小结
第三章 MOCVD温度均匀性控制
3.1温度均匀性控制原理
3.2基于单纯形法的MOCVD温度均匀性控制
3.3不同加热器模型结构对石墨表面温度均匀性的影响
3.4本章小结
第四章 MOCVD温度控制系统的数学模型
4.1数学模型概述
4.2系统辨识概述
4.3静态模型建立
4.4动态模型建立
4.5本章小结
第五章 MOCVD温升控制算法研究
5.1PID控制算法研究
5.2模糊控制算法研究
5.3内模控制
5.4本章小结
第六章 总结与展望
6.1文章总结
6.2前景展望
参考文献
致谢
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