微机械系统的计算机辅助设计方法及各向异性腐蚀过程的模拟

摘要

该论文主要研究的是微机械器件的计算机辅助设计方法.该论文在详细研究微机械技术自身特点的基础上,提出了一个完整的微机械CAD软件的基本框架.该框架以微机械器件构模的三个层次——物理级、行为级和系统级——为基础,针对每一层次的模型都提出了相应的实现手段.其中,通用模型接口负责模型之间的相互转化.考虑到设计人员应用的范围不同,我们提出的微机械CAD软件框架同时提供了高级用户接口和低级用户接口.该论文还提出了微机械CAD软件设计与实现过程中所要遵循的原则:开放性原则、标准性原则、易用性原则和继承性原则.

目录

文摘

英文文摘

第一章微机械技术概论

第一节微机械技术简介

第二节微机械加工工艺

第三节计算机辅助设计与微机械技术

第二章微机械系统(MEMS)的CAD方法

第一节微机械系统构模的层次

第二节微机械CAD软件的结构

第三节微机械CAD软件开发应遵循的原则

小节

第三章微机械各向异性腐蚀工艺及其模拟算法

第一节各向异性腐蚀

第二节硅单晶各向异性腐蚀的几何基础

第三节各向异性腐蚀的计算机模拟

第四节各向异性腐蚀算法的比较

小节

第四章AESP程序设计

第一节AESP程序的功能设计

第二节单元自动去除方法的改进

第三节版图输入模块

第四节腐蚀模拟处理模块

第五节后处理模块

小节

第五章结论与展望

第一节模拟结果

第二节结论与展望

参考文献

致谢