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第1章绪论
1.1MEMS(微电子机械系统)技术概述
1.2微机械生物传感器
1.3本文研究的主要内容
参考文献
第2章几种用于监测细胞生长的生物传感器
2.1表面等离子体共振(SPR)生物传感器
2.2ISFET生物传感器
2.3QCM生物传感器
2.4细胞电容生物传感器
参考文献
第3章基于微悬臂梁的微机械生化传感器
3.1微悬臂梁传感器的工作原理
3.2微悬臂梁传感器的应用
3.3微悬臂梁及悬臂梁阵列的制作工艺
3.4微悬臂梁的检测方法
3.5微悬臂梁谐振测试
3.6本章小结
参考文献
第4章用于细胞生长在线监测的光纤生物传感器
4.1光纤生物传感器研究介绍
4.2光纤生物传感器实验系统装置
4.3实验结果及讨论
4.4本章小结
参考文献
第5章用于疾病诊断的QCM气敏传感器
5.1QCM与疾病早期诊断
5.2常用气体传感器敏感膜
5.3Ag+ZSM-5沸石分子筛修饰QCM
5.4QCM气敏传感器对丙酮气体的测量
5.5本章小结
参考文献
第6章全文总结
硕士研究生期间发表论文及获奖情况
致谢
论文独创性声明和论文使用授权声明