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目录
1 绪论
1.1 选题背景
1.2 太阳能资源概述
1.3 光热选择性吸收薄膜
1.4 反应磁控溅射技术
1.5 研究目的及意义
1.6 论文的研究内容及技术路线
2 实验内容及实验方法
2.1 W、Mo掺杂TiAlON光热薄膜的结构设计
2.2 薄膜沉积设备介绍
2.3 W、Mo掺杂TiAlON光热薄膜工艺参数的确定
2.4 W、Mo掺杂TiAlON光热薄膜的表征
3 实验结果与讨论
3.1 掺杂相种类、比例和掺入模式对W、Mo掺杂TiAlON薄膜成分、结构、性能的影响
3.2 吸收层尺度特征对W-TiAlON薄膜结构、性能的影响
3.3 层间过渡最小化对W/Mo-TiAlON薄膜结构、性能的影响
4 结论
致谢
参考文献