文摘
英文文摘
声明
1.课题背景及目标
1.1光学仪器及其用途
1.2分光光度计的组成
1.3课题目标
2.薄膜分布规律的推算
2.1薄膜光学的基本定律和概念
2.2单层膜的相干
2.3倾斜入射时单层金属膜的反射与透射
2.4垂直入射时单层金属膜的反射与透射
3.镀膜装置及驱动电机的选择
3.1镀膜机构
3.2驱动电机的选择
3.3步进电机运转过程的其它要求
3.4单片机控制的步进电机转动控制解决方案
4.步进电机的驱动与控制
4.1步进电机特性
4.2 L297与L298的连接
4.3步进电机驱动板
4.4单片机控制系统(板)
4.5系统控制程序
5.样品的试制及线性调整
5.1真空镀膜
5.2镀膜装置介绍及薄膜沉积状态分析
5.3挡板运动参数的调整
6.结论
参考文献
附录
在学研究成果
致谢