声明
摘要
1 绪论
1.1 课题的来源
1.2 课题的研究意义
1.3 亚表面损伤产生机理
1.4 亚表面损伤测量技术的发展过程及现状
1.4.1 测量亚表面损伤的破坏性检测技术
1.4.2 测量亚表面损伤的非破坏性检测技术
1.5 本论文的主要研究内容
2 亚表面损伤深度的测量原理
2.1 全内反射法测量亚表面损伤的基本原理和结构
2.2 全内反射照明光波状态与损伤点可见度的关系
2.2.1 驻波理论的分析
2.2.2 入射光波偏振态对损伤点可见度的影响
2.2.3 入射角度对损伤点可见度的影响
2.3 微分干涉增强损伤裂纹的凹凸感
2.3.1 线偏振光微分原理
2.3.2 线偏振光干涉原理
2.3.3 微分干涉光学系统原理
2.4 本章小结
3 全内反射法测量亚表面损伤系统的设计
3.1 全内反射法测量亚表面损伤的整体系统装置设计
3.2 全内反射照明装置的原位照明设计
3.3 360°光纤照明系统的设计
3.4 微分干涉棱镜的设计
3.4.1 分束角的设计计算
3.4.2 相干平面的位置及与系统光轴的关系
3.4.3 光程差的计算
3.4.4 设计参数相互关系分析
3.5 本章小结
4 实验的装调和观察
4.1 实验系统的装调
4.2 Nomarski棱镜设计图
4.3 实验现象及分析
4.3.1 偏振态对可见度的影响
4.3.2 入射角度对可见度的影响
4.3.3 照明方向对可见度的影响
4.3.4 Nomarski棱镜的作用
4.4 本章小结
5 全文总结与展望
致谢
参考文献
攻读硕士期间发表的论文和专利情况
攻读硕士学位期间参加的科学研究情况