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目录
第一章 绪 论
1.1 引 言
1.2国内外现状
1.3靶材对激光能量吸收机制
1.4光谱谱线展宽机制
1.5单独热源与金属靶材相互作用的原理
第二章 激光-电弧复合热源作用时等离子体诊断
2.1等离子体电子温度诊断计算方法
2.2等离子体电子密度诊断计算方法
2.3等离子体诊断光谱选择
2.4复合装置及采集装置
2.5等离子体诊断的优点
第三章 单独热源等离子体诊断
3.1激光热源等离子体诊断
3.2电弧热源等离子体诊断
3.3本章小结
第四章、双热源作用时等离子体诊断
4.1 双热源作用时激光功率对等离子体信息的影响
4.2 电弧电流变化时对等离子体特性参数信息的影响
4.3 电弧电压变化时对等离子体信息的影响
4.4 靶材移动速度对等离子体的影响
4.5 热源间距对等离子体信息的影响
4.6本章小结
总结与展望
致谢
参考文献