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目录
第1章 绪论
1.1课题背景及意义
1.2国内外研究现状及发展趋势
1.3 课题来源及主要研究内容
第2章 电子束光刻的基本理论与关键技术分析
2.1电子束曝光系统的分析
2.2电子抗蚀剂的分析
2.3电子束光刻技术的工艺问题分析
2.4本章小结
第3章 电荷积累的产生机理及导电胶抑制的研究
3.1绝缘衬底对电子束光刻的影响
3.2电荷积累机理分析及模型构建
3.3可溶性导电胶抑制电荷积累的研究
3.4本章小结
第4章 电磁波热效应抑制图形坍塌与粘连的研究
4.1图形坍塌及粘连的机理
4.2抗蚀剂图形的实验
4.3电磁波热效应干燥机理及抑制效果分析
4.4本章小结
第5章 电子束光刻中邻近效应的校正方法及优化
5.1电子束光刻中邻近效应的产生机理与校正函数优化
5.2电子束曝光邻近效应的实验现象分析
5.3电子束曝光邻近效应的校正方法及结果分析
5.4本章小结
结论
参考文献
攻读学位期间发表的学术论文
致谢