第1章 绪 论
1.1 课题研究的背景及意义
1.2 实现光栅结构参数测量方法的国内外现状分析
1.3 光学散射测量法存在问题总结
1.4 课题的主要研究内容
第2章 严格耦合波理论的分析及实现
2.1 引言
2.2 严格耦合波理论
2.3 严格耦合波理论仿真验证
2.4 光栅衍射效率特性仿真分析
2.5 本章小结
第3章 光栅衍射效率反演结构参数的研究
3.1 引言
3.2 BP神经网络结构及算法分析
3.3 光栅结构参数反演模型
3.4 本章小结
第4章 光栅结构参数测量实验研究
4.1 引言
4.2 光栅衍射效率测量系统
4.3 光栅结构参数测量
4.4 本章小结
结论
参考文献
声明
致谢