声明
摘要
1 绪论
1.1 Si基热电材料
1.1.1 热电材料
1.1.2 Si作为热电材料的研究
1.1.3 多孔硅作为热电材料的研究
1.2 多孔硅的制备方法
1.2.1 无电极化学腐蚀法
1.2.2 贵金属辅助腐蚀法
1.2.3 电化学腐蚀法
1.3 选题依据以及研究内容
1.4 本章小结
2 样品的制备与表征技术
2.1 实验设备技术
2.2 样品表征技术
2.2.1 结构和成分表征技术
2.2.2 形貌表征技术
2.2.3 热电性能表征技术
2.2.4 磁性表征技术
2.3 样品的制备流程
2.4 实验样品原料及试剂
2.5 样品的制备技术
2.6 本章小结
3 单层有序模板的制备与研究
3.1 有序模板的制备
3.1.1 SiO2微球的制备
3.1.2 单层SiO2微球模板的制备
3.2 本章小结
4 无电极化学腐蚀制备多孔硅与性能研究
4.1 多孔硅的制备
4.1.1 硅片的清洗
4.1.2 以SiO2微球为模板制备多孔硅
4.2 多孔硅的热电性能研究
4.3 本章小结
5 电化学腐蚀制备多孔硅与性能研究
5.1 多孔硅的制备与研究
5.1.1 直接电化学腐蚀样品的制备
5.1.2 直接电化学腐蚀多孔硅的性能研究
5.2 以SiO2微球为模板多孔硅的制备与研究
5.2.1 以SiO2微球为模板样品的制备
5.2.2 以SiO2微球为模板多孔硅的性能研究
5.3 本章小结
结论
参考文献
致谢
攻读学位期间取得的科研成果清单
河北师范大学;