声明
摘要
第一章 绪论
1.1 微型薄膜锂离子电池的发展概况与应用
1.1.1 薄膜锂离子电池发展历史
1.1.2 薄膜锂离子电池的工作原理
1.1.3 薄膜锂离子电池发展遇到的瓶颈及问题
1.2 薄膜锂电池的薄膜材料研究进展
1.2.1 薄膜锂离子电池的正极材料研究进展
1.2.2 薄膜锂离子电池电解质材料研究进展
1.2.3 薄膜锂离子电池的负极材料研究进展
1.3 全固态薄膜锂离子电池的结构
1.3.1 二维结构
1.3.2 三维结构
1.4 本论文的主要内容
参考文献
第二章 氧化钒薄膜的结构、性能、制备及研究方法
2.1 氧化钒的晶体结构与性质
2.1.1 五氧化二钒(V2O5)
2.1.2 二氧化钒(V2O2)
2.1.3 三氧化二钒(V2O3)
2.2 制备氧化钒薄膜的技术
2.3 薄膜材料的物理结构表征
2.3.1 X射线衍射(XRD)
2.3.2 扫描电镜(SEM)
2.3.3 X射线光电子能谱(XPS)
2.4 薄膜材料的电化学测试
2.4.1 循环伏安测试(CV)
2.4.2 恒流源充放电测试
参考文献
第三章 全固态薄膜锂离子电池阴极薄膜制备及表征
3.1 氧化钒薄膜的制备
3.1.1 硅片预处理及表面氧化
3.1.2 氧化钒薄膜的制备
3.2 氧化钒薄膜的物理结构表征
3.2.1 氧化钒薄膜的半导体特性测试(IV)
3.2.2 氧化钒薄膜的X射线衍射分析(XRD)
3.2.3 氧化钒薄膜的扫描电镜表征(SEM)
3.2.4 氧化钒的X射线光电子能谱测试(XPS)
3.3 氧化钒薄膜的电化学性质测试
3.3.1 电极片的制作及模拟电池的组装
3.3.2 氧化钒循环伏安测试(CV)
3.3.3 氧化钒恒流源充/放电测试
3.4 本章小结
参考文献
第四章 锂离子电池的实验制备
4.1 MEMS工艺简介
4.1.1 MEMS加工工艺简介
4.1.2 MEMS加工工艺使用试剂和仪器
4.2 制备流程
4.2.1 二维结构设计
4.2.2 二维结构制备工艺流程
4.2.3 三维结构设计及制备流程
4.2.4 全固态微型薄膜锂离子电池的封装
4.3 微型锂离子电池测试结果
4.4 本章小结
参考文献
第五章 工作总结与展望
5.1 工作总结
5.2 展望
致谢
作者攻读硕士学位期间发表论文