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目录
1 绪论
1.1石墨烯简介
1.1.1石墨烯研究背景
1.1.2石墨烯的结构和性质
1.1.3石墨烯的制备
1.2 六方氮化硼(h-BN)简介
1.2.1六方氮化硼(h-BN)研究背景
1.2.2六方氮化硼(h-BN)的结构和性质
1.2.3氮化硼的制备
1.3 本论文主要研究内容
2 h-BN、石墨烯及复合材料的制备及其表征
2.1 引言
2.2 实验部分
2.2.1实验设备
2.2.2磁控溅射法制备六方氮化硼薄膜
2.2.3气相沉积(CVD)法制备石墨烯薄膜
2.2.4仪器与表征方法
2.3结果与讨论
2.3.1 原子力显微镜(AFM)表征
2.3.2扫描电子显微镜(SEM)表征
2.3.3红外光谱(FTIR)表征
2.3.4拉曼光谱(Raman)表征
2.4本章小结
3 h-BN、石墨烯及其复合材料在不同衬底上的制备及散热测试研究
3.1引言
3.2实验部分
3.2.1实验设备
3.2.2 磁控溅射法在氮化铝(AlN)衬底上制备六方氮化硼薄膜
3.2.3 磁控溅射法在三氧化二铝(Al2O3)衬底上制备六方氮化硼薄膜
3.2.4 磁控溅射法在氧化锆(ZrO2)衬底上制备六方氮化硼薄膜
3.2.5 气相沉积(CVD)制备石墨烯以及制备六方氮化硼和石墨烯复合薄膜
3.2.6仪器与表征方法
3.3结果与讨论
3.3.1 原子力显微镜(AFM)表征
3.3.2 扫描电镜(SEM)表征
3.3.3红外光谱(FTIR)表征
3.3.4拉曼光谱(Raman)表征
3.3.5导热性能研究
3.4本章小结
4 结论
参考文献
附录:作者攻读硕士学位期间发表论文及科研情况
致谢
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