MEMS带通滤波器设计与仿真技术研究

摘要

无线通信技术，特别是第三代通信系统和蓝牙技术的迅速发展，主流的通信频段日益拥挤，工作在射频波段的通信器件，尤其是滤波器件越来越受到人们的重视。 微机电(MEMS:Micro-Electro-MechanicalSystems)技术带来了精细的加工手段，使系统的微型化成为可能。而基于MEMS技术研制的体声波谐振器(FBAR:FilmBulkAcousticResonators)是实现滤波器件微型化的关键。FBAR具有频率高、体积小、效率高等优点，并且与半导体工艺兼容，容易与射频系统前端集成，实现射频系统的微型化。利用FBAR可以制作滤波器、振荡器、双工器等多种高性能小体积表面贴装型微波器件，其电性能己能达到3G移动通信的要求。 本论文通过作者对国外典型体声波谐振器的调研分析，提出自己的体声波谐振器结构模型，并应用一系列仿真软件，如matheatica、Matlab、ADS、ConventorWare等对体声波谐振器的电抗和加工工艺以及体声波滤波器的传输系数做了详尽的仿真分析，它们是制造体声波谐振器和连接体声波滤波器的理论基础。 体声波滤波器是射频技术和微机械技术交叉的新的技术领域，它具有传统滤波器不可替代的体积、价格和性能优势。因而对其建立模型、理论分析和特性仿真对MEMS技术以及通信系统的发展都是必要的。

目录

文摘

英文文摘

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第一章绪论

第二章RF MEMS体声波谐振器的基本理论和关键参数

第三章RF MEMS体声波谐振器建模、分析及滤波器的实现

第四章结论

致谢

攻读硕士学位期间从事的主要科研工作及发表的论文

参考文献