Dept. of Microelectron., Brno Univ. of Technol., Brno;
micromechanical devices; pressure measurement; 12C standard; MEMS based pressure measurement; current 1 mA; current 238 mA; integrated measurement unit; voltage 5 V;
机译:具有XeF_2干蚀刻工艺的基于CMOS-MEMS的宽测量压力范围集成热电真空计
机译:测试用于旋转转向系统的测量-随钻测量的MEMS惯性测量单元的新集成解决方案
机译:验证充血性心力衰竭患者的左心室充盈压测量结果:经胸超声心动图测量CardioMEMS™肺动脉舒张压与左心房压
机译:基于MEMS压力测量的集成单元
机译:无线MEMS惯性测量单元在高尔夫挥杆测量和分析中的设计和应用。
机译:验证充血性心力衰竭患者的左心室充盈压测量值:经胸超声心动图测量CardioMEMS™肺动脉舒张压与左心房压
机译:验证充血性心力衰竭患者的左心室灌浆压力测量:Cardiomems™肺动脉舒张压与左侧心脏压力测量通过Transthorace超声心动图
机译:将集成mEms / CmOs技术应用于惯性测量单元的关键问题