Faculty of Aerospace Engineering, Delft University of Technology, Kluyverweg 1,2629 HS, Delft,The Netherlands;
Faculty of Aerospace Engineering, Delft University of Technology, Kluyverweg 1,2629 HS, Delft,The Netherlands;
MEMS; space systems; miniaturization;
机译:使用MEMS技术使空间组件和系统小型化
机译:以MEMS技术实现的微型心脏细胞力传感器系统
机译:使用绝缘体上硅-MEMS技术制造的MEMS电容式加速度计的小型化
机译:使用MEMS技术使空间组件和系统最小化
机译:使用MEMS技术设计用于眼动测量的小型线圈系统。
机译:基于MEMS技术的基于非晶线的微型GMI磁传感器的设计与制作
机译:在芯片上开发单片多mEms微系统,展示imEms {trademark} VLsI技术。 R和D状态报告编号10,1996年1月1日至3月31日
机译:空间小型化科学:用于空间环境的微机电系统(mEms)