表面機能によるトランスファプリントの転写性向上と微細構造作製

摘要

トランスファプリントはスタンプを用いて薄膜を転写する技術であり，基板上で２次元または３次元の微細構造作製に有効な手法である．これまでの主体であったフレキシブルデバイス向けの電極や偏光子に加えて，著者らは加工基板に適用して立体微細構造の作製を実証した．トランスファプリントでは，薄膜のスタンプからの離型性と基板への接着性が作製構造の形状精度や歩留まりに影響を及ぼすため，表面性状の最適化が必要とされる．そのため，スタンプには低表面エネルギ材料が，基板は加熱によって粘着性を示す樹脂が用いられてきたが，それぞれ薄膜の膜質低下と基板材料の制限が課題である．そこで本研究では，光触媒効果および原子拡散接合という動的な表面・界面制御手法をトランスファプリントに適用し，その表面機能を活用した薄膜の転写性向上と微細構造作製への応用を試みている．