ナノ材料の電気特性計測のための二次元バーコード座標マーカー基板の作製

摘要

カーボンナノチューブ（CNT）や半導体ナノワイヤ、原子層材料など、様々なナノスケールの一次元・二次元物質が発見・開発され、それらの電子物性測定や電子素子への応用研究が活発になっている[1]。これらの物質一つ一つに制御性よく電極を取り付けるには、基板上に材料を分散させた後、走査型電子顕微鏡（SEM）や原子間力顕微鏡（AFM）で物質の基板上での位置決めを行い、電子線（EB）リソグラフィーなどで電極を取り付ける方法が用いられる。多くの物質は、SEM観察による電子線照射でダメージを受けるため、AFMの利用が好ましいが、AFMでは視野が狭いことにくわえ、基板上での観察位置を特定することが難しく、実際の作業工程には労力を要する。本研究では、この問題を解決するため、位置情報を二次元（2D）バーコードパターンとして埋め込んだ基板を開発し、実際に基板上に分散させたCNTに電極を取り付けて電気的特性の測定を行った。