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【24h】

High energy microelecromechanical oscillator based on the electrostatic microactuator

机译:基于静电微致动器的高能微机电振荡器

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摘要

Electrostatic high energy micromotor based on the ferroelectric films is studied as applied to microelectromechanical devices operating in vibrational mode. It is shown that the micromotor can be efficiently used in high frequency micromechanical vibrators that are used in high energy MEMS devices, such as micropumps, microvalves, microinjectors, adaptive microoptic devices etc.
机译:研究了基于铁电薄膜的静电高能微电机,并将其应用于以振动模式运行的微机电设备。结果表明,微电机可以有效地用于高能量MEMS器件(如微型泵,微型阀,微型注射器,自适应微型光学器件等)中使用的高频微型机械振动器中。

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