Institute of Automation and Electrometry, Russian Academy of Sciences, 630090 Novosibirsk, Russia;
Institute of Automation and Electrometry, Russian Academy of Sciences, 630090 Novosibirsk, Russia;
Institute of Automation and Electrometry, Russian Academy of Sciences, 630090 Novosibirsk, Russia;
electrostatic micromotor; MEMS; vibrator; high energy output;
机译:基于基于铅的X射线掩模的X射线光刻和干膜转移至PCB工艺的静电MEMS微致动器的制造
机译:内部实验装置研究基于双微悬臂梁的静电微驱动器的动态驱动
机译:晶圆级制造的基于聚合物的无接点静电微致动器
机译:静电微致动器上的高能微观机械振荡器
机译:基于静电的MEMS谐振器中的非线性和相位噪声。
机译:基于简单溶质的无水化能的有无德鲁兹振荡器模型的QM / MM模拟的比较
机译:基于静电电位拟合原子电荷与MM子系统尺寸线性缩放的静电电位拟合原子电荷的分析能量,梯度和Hessian