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机译:通过原子层沉积进行金属栅/高k电介质堆叠工程:材料问题和电性能。
机译:栅堆叠结构和工艺缺陷对32 nm工艺节点PMOSFET中NBTI可靠性的高k介电依赖性的影响
机译:通过水蒸气退火抑制具有高k栅极电介质的Ge金属氧化物半导体电容器中不稳定的低fr GeOx中间层的生长