Precision positioning; 3-DOF; Macro-Micro; Vacuum; 3PRR; Loading;
机译:由压电致动器完全致动3-DOF的运动控制和精密定位补偿,由压电致动器完全致动
机译:平面型3自由度$(X,Y,thez z)$精密定位表的系统识别和轮廓跟踪
机译:切换位置 - 扭矩控制系统,用于在激烈的外部干扰负载下增加伺服PMDC定位精度
机译:三自由度宏微精密定位系统加载效果的实验研究
机译:高精度光学定位系统动态响应的理论和实验研究。
机译:基于基于基于AOA的室内定位系统使用基础设施照明和位置敏感探测器的准确性和精确评估
机译:带有空气轴承的三自由度超精密定位平台的动力学建模和分析