DLC films; Gas pressure; sp3 fraction; Mechanical properties;
机译:中频脉冲不平衡磁控溅射技术在不同气压下制备类金刚石碳膜的行为研究
机译:研究中频脉冲不平衡磁控溅射制备的氢化非晶碳膜的结构和物理性能
机译:离子辅助中频不平衡磁控溅射制备类金刚石碳膜
机译:用不同气体压力下脉冲脉冲不平衡磁控溅射技术制备的菱形碳膜的行为研究
机译:脉冲反应直流磁控溅射技术制备的高介电常数薄膜的沉积和表征。
机译:磁控溅射技术制备的金属氧化物薄膜在微波频率范围内的挥发性有机物检测
机译:溅射压力对射频磁控溅射制备的Zn_