ScAlN 薄膜/水晶基板上を伝搬する縦型リーキーSAW に水晶カット角とSAW 伝搬方向が及ぼす影響

机译：晶体切角和锯传播方向对垂直泄漏锯传播的晶体切割方向在甲基薄膜/石英衬底上传播

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現在，次世代高周波フィルタ応用に向け，弾性表面波(SAW)デバイスには，高周波動作，広帯域，高Q値，高温度安定性が要求されている．我々は高いSAW 位相速度をもつ縦型リーキーSAW（LLSAW）伝搬モードの利用することでSAW デバイスの高周波化を目指している．

机译：目前，需要为下一代高频滤波器应用而需要弹性表面波（SAW）装置，并且需要高频操作，宽带，高Q值和高温稳定性。我们通过利用具有高锯相速度的垂直泄漏锯（LLSAW）传播模式来实现高频锯装置的频率。

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来源
《応用物理学会秋季学術講演会》|2018年|1 CD-ROM|共1页
会议地点
作者
鈴木雅視; 澤田直弥; 垣尾省司;
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正文语种
中图分类物理学;
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