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XPS を用いたトリメチルアルミニウムガスによるTiO_2 膜からの自己制御型の酸素脱離メカニズムの解析

机译:用XPS通过三甲基铝气体从TiO_2膜自控制氧解吸机理分析

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摘要

多結晶anatase 構造のTiO_2(anatase-TiO_2)膜上へ、トリメチルアルミニウム(TMA)ガスのパルス供給によって、前回、TiO_2 膜へ酸素欠損(Vo)が導入され、その結果、絶縁体から導電体へ変わるメカニズムを報告した1。我々は、TMA ガスとTiO_2 膜中の酸素の反応がVo 生成に大きく関与すると考えた。そこで、本研究では、XPS 解析によるanatase-TiO_2 膜へのTMA のパルス供給に対するAl_2O_3 膜の生成を基に、TiO_2 膜へのV_o 生成のメカニズムについて詳細に検討した。
机译:对于多晶锐钛矿结构的TiO_2(Anatase-TiO_2)膜,脉冲泵的三甲基铝(TMA)气体,最后引入氧缺乏(VO)至TiO_2膜,结果变为报告机构1的绝缘材料导体。我们认为氧气和TiO_2膜中氧气的反应大大参与了vo形成。因此,在本研究中,通过XPS分析将Al_2O_3膜的形成在TMA对anatase-TiO_2膜上的脉冲供应上的形成,详细讨论了V_O形成对TiO_2膜的机制。

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