XPS を用いたトリメチルアルミニウムガスによるTiO_2 膜からの自己制御型の酸素脱離メカニズムの解析

摘要

多結晶anatase 構造のTiO_2(anatase-TiO_2)膜上へ、トリメチルアルミニウム(TMA)ガスのパルス供給によって、前回、TiO_2 膜へ酸素欠損(Vo)が導入され、その結果、絶縁体から導電体へ変わるメカニズムを報告した1。我々は、TMA ガスとTiO_2 膜中の酸素の反応がVo 生成に大きく関与すると考えた。そこで、本研究では、XPS 解析によるanatase-TiO_2 膜へのTMA のパルス供給に対するAl_2O_3 膜の生成を基に、TiO_2 膜へのV_o 生成のメカニズムについて詳細に検討した。