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【24h】

対向針の三次元的位置合わせ可能なTEM観察用MEMSデバイス:第2報

机译:MEMS设备用于可变纸张的三维对齐:第二次报告

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摘要

TEMへの集積に適した探針の面外方向駆動機構を持つMEMSは、現時点では大気圧下で十分な変位が得られている。今後MEMSをTEMに導入し実験を進め提案した手法の“MEMS-in-TEM”における利用を目指す。
机译:具有适用于累积至TEM的探针的探针的探针的易于驱动机构的MEMS在大气压下提供足够的位移。将来,MEMS被引入TEM,并使实验使用该技术使用“MEMS-In-TEM”。

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