Optische Form- und Welligkeitsmessung im Nanometerbereich

摘要

Die hochgenaue Messung der Formabweichung wie Rundheit, Geradheit und Welligkeit von funktionskritischen Oberflachen wird bisher uberwiegend taktil mit Formmessgeraten oder optisch mit interferometrischen Verfahren durchgefuhrt. Um mit diesen Messgeraten Genauigkeiten im Nanometerbereich zu erreichen, muss man einen relativ grossen Aufwand betreiben, da Storschwingungen aus der Umgebung das Ergebnis unmittelbar beeinflussen. Eine Anwendung in der rauen Fertigung ist damit ausgeschlossen. In diesem Beitrag wird ein gegen Vibrationen unempfindlicher optischer Sensor vorgestellt, der Formabweichungen uber eine Winkelmessung erfasst. Anhand von Beispielen aus der Walzlager- und Halbleiterindustrie wird gezeigt, dass der Sensor Rundheitsabweichungen < 0,2 μm und Welligkeitsamplituden < 0,01 μm auch in der Fertigung sicher messen kann.