Use of X-ray techniques in the development and production of novel transistor structures

机译：使用X射线技术在新型晶体管结构的开发和生产中

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X-ray techniques are indispensable tools for characterization of strained layers during different stages of process development and integration. Even when precise information cannot be obtained in some cases, in combination with other techniques it gives a fast and important feedback.

机译：X射线技术是在过程开发和集成的不同阶段表征应变层的不可或缺的工具。即使在某些情况下不能获得精确的信息，与其他技术结合，它也会提供快速和重要的反馈。

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来源
《International Silicon‐Germanium Technology and Device Meeting》|2014年||共2页
会议地点
作者
Hikavyy Andriy; Rosseel Erik; Witters Liesbeth; Mertens Hans; Ryan Paul; Langer Robert; Loo Roger;
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正文语种
中图分类电工材料;
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