AZO Thin Film; Microstructure; Electrical Characteristic; Optical Property;
机译:基板旋转速度和偏心沉积对直流磁控溅射制备的AZO薄膜的结构,光学和电学性质的影响
机译:沉积温度对射频反应磁控溅射在玻璃上生长氮掺杂AZO薄膜性能的影响
机译:用于TiCrsin薄膜沉积的混合高功率脉冲和射频磁控溅射系统:等离子体特性和薄膜性能
机译:不同等离子体功率下DC磁控溅射的偶氮薄膜的室温沉积和性能
机译:用于微辐射热计应用的脉冲直流磁控溅射氧化钒薄膜的制备,表征和沉积后修饰
机译:大功率脉冲磁控溅射镍薄膜的斜角沉积
机译:基板转速和偏心沉积对DC磁控溅射制备的偶氮薄膜结构,光学和电性能的影响