微小ガラス穴内側形状の測定と解析－反転レプリカ法と三次元測定装置の有効性と課題点

摘要

微小ガラス穴内側形状は，触針子が穴内部に入らないため接触式測定機は使用できない．またガラス穴を縦に切断し内部を露出して触針子で測定する場合でも，長軸方向測定は可能だが周方向測定は不可能である．そこで穴内側形状をレプリカにより外側形状に反転転写し，このレプリカの外周を非接触で測定する高精度三次元測定機で測定した．本研究の目的はレプリカ法と三次元測定装置の有効性と課題点を明らかにすることである．それにより安価で高精度な微小穴内部測定システムの構築が可能になり広く産業界に貢献できる．