エッチング援用切断技術の開発(第2報)－往復式マルチワイヤスライサによる切断特性

摘要

太陽電池パネルに用いられているシリコンウェーハは，ダイヤモンド砥粒を付着したワイヤ工具を用いて，マルチワイヤスライシングにより作製されている．しかしこのような機械的な加工方法では，切り出したウェーハにダメージが発生し，それが破損の原因となる．そのため，薄肉ウェーハの切出しに限界がある．またウェーハ作製コスト削減の観点から，削りしろとなるカーフロス（切断溝）の低減が求められている．そこで，著者らは化学的な作用を用いた新しい加工方法によるシリコンウェーハの切断技術の開発を行っている．金属ワイヤによりシリコンインゴットを擦過し，そこにエッチャントを供給することで擦過点のエッチングを促進する加工方法を考案し，その加工特性の評価を行っている．これまでの研究でシングルワイヤ切断装置においてワイヤ走行速度·ワイヤ温度による加工速度の向上を調査し，またエッチャント組成の最適化により溝幅方向のエッチングの抑制を実現した．本報では新たにワイヤ往復式の装置を開発し，加工特性の評価を行ったので報告する．