板状部材を用いた小型超音波モータの性能検証（第2報）板状部材の挙動について

摘要

超音波モータは，圧電素子で発生する超音波領域の機械振動を駆動源として，圧電素子に印加した電気的エネルギを機械的エネルギに変換して物体を移動するアクチュエータである．このモータは，小型でありながら高トルクや高い位置決め精度，静音性に優れ，磁気の影響を受けないなどの特徴から，位置決めステージ，カメラのオートフォーカス機構や MRI下で使用するアクチュエータとして使用されている．