弾性案内-電磁力駆動によるミリストローク超精密位置決め機構（第5報, 一体化ヒンジ機構による位置決め性能）

摘要

本研究は, 最大1×1 mm 程度のストローク(ミリストローク)に対してナノメートルレベルの分解能を持つ平面位置決め機構を, 弾性案内-電磁力駆動により実現することを目的としている．前報までに, ワイヤカット放電加工により成形した一体型弾性ヒンジ案内機構とボイスコイルモータを用いて, X 方向およびY 方向の直動2 軸とヨーイングθ を制御可能3 自由度平面位置決め機構を構成し, 各軸の単独動作におけるPTP 位置決めにおいてはナノメートルレベルの位置決め性能を持つことを示した．本報では, 各軸を連動させた連続軌跡位置決め動作（CP 位置決め）へと本機構を拡張し, 機構に残留している各軸間の干渉を低減する制御系を構成し, 直径1mm の円弧運動における位置決め性能を実験的に検討する．さらに, XY 平面からの面外運動誤差の測定結果を示す．