机译:基材材料对Cu(Ti)合金膜中富Ti界面层自形成的影响
机译:基材材料对Cu(Ti)合金膜中Ti-Rich界面层自形成的影响
机译:Cu(Ti)/ Low-k样品中自形成的Ti-Rich界面层的表征
机译:Cu(Ti)/ low-k界面上富钛层的自形成
机译:对不常见的钛二元体系的评估:Ti-Zn,Ti-Cu和Ti-Sb。
机译:用于进一步缩小超大型集成器件-Cu互连的等离子增强化学气相沉积SiCH膜的低k覆盖层的材料设计
机译:Cu(Ti)/ Low-k样品中自形成的Ti-Rich界面层生长的Rutherford背散射光谱分析