Ion etching; EUV lithography; multilayer mirrors; roughness;
机译:使用多个相位校正镜的波整形
机译:ULE〜?形状误差校正的两阶段离子束修整和平滑方法极紫外光刻投影光学系统的基底:高空间频率粗糙度的评估
机译:通过可变形镜子的X射线束整形:使用物理光学的高斯光束的表面轮廓和点扩展功能计算
机译:通过离子束校正EUV镜像形状的校正
机译:旋流器的光束整形镜的设计可帮助将电磁束注入波纹波导中。
机译:通过可变形反射镜进行X射线束整形:使用物理光学对高斯束进行表面轮廓和点扩展函数计算
机译:EUV反射率表征94/304?飞行二级aIa镜子在高级光源的光束线6.3.2