plasma diagnostics; reactive etching; Langmuir probe; end-point detection; EEDF; optical-emission spectroscopy;
机译:多晶硅/ SiO {sub} 2 / Si结构的等离子蚀刻:Langmuir探针和发射光谱监测
机译:有助于Langmuir探针技术在聚合过程中用于Ar和正己烷混合等离子体中等离子体监测的应用
机译:碳氟化合物ICP等离子体中Si和SiO2的蚀刻机理:通过质谱,朗缪尔探针和光发射光谱法分析等离子体
机译:Langmuir探测在等离子体蚀刻监测中的应用
机译:使用Langmuir探针和红外二极管激光吸收光谱对刻蚀等离子体进行表征。
机译:垂直和斜面结构的SiC蚀刻技术结合了用于各种微电子应用的不同混合气体等离子体
机译:Langmuir探针诊断在复杂血浆中的基本原理和应用