荷重増減摩擦試験による極薄膜ダイヤモンドライクカーボン膜のトライボロジー特性評価

摘要

DLC（ダイヤモンドライクカーボン）膜はトライボロジー特性に優れるため，機械部品の槽動部に用いられている。また，磁気ディスク装置の大容量化や記録密度の向上によりヘッドと磁気ディスクの損傷防止のための保護膜としても厚さ数nmのDLCが用いられている1）。