クリーンルーム向けスマートFEMSの実験的検討--ぞの2.変動発塵時の制御特性と多点制御特性

摘要

近年の省エネや節電への意識の高まりから、クリーンルーム施設においてもスマート化による節電、省エネルギーが図られていくようになると考えられる。前報ではBEMSによる中央監視と空調制御が行われているクリーンルーム実験施設においてデマンドレスポンス￠棚を想定した粒子濃度のリアルタイムモニタリングによる『FUの風量制御機能を付加したCR向けFEMSによる節電、省エネルギー効果を実験的に検討し、FFU消費電力量を約40％低減できたことを報告したわ。本報では発塵量や発塵位置の違いによる制御効果、及びシステム制御対象のモニタリングポイントを複数点とした場合の効果を実験的に検討したので、その結果を報告する。