新規疲労試験手法を用いた単結晶および多結晶シリコンの疲労特性の評価

机译：用新的疲劳试验法评价单晶和多晶硅疲劳性能

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多結晶シリコンには粒界が存在し，繰返し応力に対する上記の複雑な挙動の原因となっている可能性がある，そこで，本研究では粒界のない単結晶シリコン薄膜を対象とし，不活性ガス中での繰返し荷重による強化効果および疲労による強度低下の有無の検討を行って，多結晶シリコンの場合との比較を試みた．

机译：多晶硅可能具有晶界，并且可能导致上述复合应力的复杂行为，其中靶向没有晶界的单晶硅薄膜，并且惰性气体我们检查了由于重复负载和由于重复负载而强度降低的存在或不存在。通过疲劳疲劳，并试图与多晶硅的情况进行比较。

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来源
《日本機械学会年次大会》|2010年||共2页
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作者
石川正芳; 池田裕介; 泉隼人; 神谷庄司;
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正文语种
中图分类 TH-53;
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