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Intracavity Fabrication of Nanostructures on Bulk Materials

机译:散装材料纳米结构的腔内制备

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摘要

The analytical and experimental investigations describing the intracavity processing of different solid-state materials (Al, Cr, Ge, Si)are presented. new designs of the laser cavity were explored to facilitate the fabrication of structures composed of a system of equidistant parallel 250 nm-sized grooves and periodic micro-dots on massive samples of metals and semiconductors, as well as micro-holes in thin film metallic samples.
机译:提出了描述不同固态材料(Al,Cr,Ge,Si)的腔内处理的分析和实验研究。探讨了激光腔的新设计,以便于在金属和半导体的大规模样本上制造由等距平行250nm尺寸的凹槽和周期性微点的结构,以及薄膜金属样品中的微孔。

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