表面粗さを変化させたアルミナの負極性直流電圧印加時の真空中帯電電位分布特性

摘要

真空機器の小型化·大電力化のためには沿面放電耐電圧の向上が必須である。一般に，真空中における沿面放電は絶縁体上の正帯電から二次電子雪崩が進展することで発生すると考えられておりその帯電形成には絶縁体の表面粗さが影響を及ぼしている。本稿では，表面粗さの異なるアルミナセラミックスに対して直流電圧印加後の帯電電位分布測定を行い，表面粗さの違いが帯電分布に与える影響について検討した。