銀を用いた多層型透明導電膜の成膜条件による特性改善

机译：通过使用银的多层透明导电膜的成膜条件来改善特性

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上部 AZO 層をRT と50°Cで分けて成膜をすることで，抵抗率及び可視光領域の透過率が改善した．透過率は，Ag 層とAZO 層の境界付近でAg 層の酸素含有量が減少したため改善したと考えられる．さらなる特性改善に向け，AZO 層及びAg 層の成膜条件について検討中である．

机译：通过分别在室温和50°C下形成上层AZO层，可见光区域的电阻率和透射率已经提高。透射率是在Ag层和AZO层之间的边界附近，Ag层的氧含量降低。因此，可以认为它已经得到改善。为了进一步改善特性正在考虑用于AZO层和Ag层的成膜条件。

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来源
《電子情報通信学会;電子情報通信学会総合大会》|2019年|7|共1页
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作者
萬膳一成; 日高輝; 吉村幸雄; 山之口周平; 新田敦司;
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