Straylight; line edge; roughness; Electron-beam-lithography; diffraction grating;
机译:掠入入射小角X射线散射和原子力显微镜表征聚合物光栅的形状和边缘粗糙度
机译:使用小角度X射线散射表征纳米线光栅的相关线边缘粗糙度
机译:碳K边缘散射中的分子各向异性效应:去极化散射和光学各向异性
机译:由于线边缘粗糙度导致层状光栅的漫射散射
机译:边缘粗糙度对周期性微结构光散射的影响。
机译:各向异性薄膜中不均匀性和表面粗糙度引起的偏振光散射
机译:缺陷层状光栅电磁散射的严格耦合波分析