反応性イオンエッチングで形成した高密度ナノチャネルをもつオンチップマイクロクヌーセンポンプ

摘要

微細加工技術の発展に伴い,少ない試料,低コスト,短時間で試料の分析を行うオンチップ集積型分析デバイスが注目を集めている.近い将来,日常生活での簡易的な病理診断への応用も期待されており,このためには,システム全体の小型集積化が不可欠である.現状でもセンシング機能を備え付けられたデバイスは多く報告されており,センシング対象は幅広く存在するが,代表的な対象として,重さの変化や化学物質の検出などがある.高感度センサの中でも一般的な共振型センサは,その共振周波数変化から種々の物理量変化を高感度に検出できるが,振動減衰を防ぐため動作環境として真空環境が要求される.その解決方法の一例として,デバイスの真空パッケージがあるが,ポンプとの集積化に加工の複雑さや工程増加の問題がある.市販の真空ポンプを外付けして,チップ内を真空環境に保つことも可能であるが,システム全体として小型化ができない.