地震発生時における複数の観測地点を用いた空圧式除振装置の制御切替え方法に関する研究

摘要

能動型空圧式除振装置(以降，除振装置と略記)は，除振を行うために半導体露光装置などに用いられる。微細なICを製造するためには，除振性能が必要とされるためである。本研究では，特に地震動に着目する。従来方法では地震動を検知すると除振装置を着座させて露光装置を停止し，装置を保護している。しかし，半導体露光装置を一度停止させると，再起動するまでに時間がかかり，ICの生産効率が低下する。そこで，除振装置に実装される制御を適切に切替えて地震をやり過ごす方法が提案された。ここで，やり過ごすとは露光を停止させるが，除振装置は着座させないことを指す。この方法では，除振装置で地震を感知してから制御を切替えるまでの遅れ時間が課題となった。そこで，遅れ時間をなくすために，除振装置の設置場所以外に地震動の観測地点を三箇所設けて，観測地点で同装置の地震動を予測し制御を切替える方法を検証した。しかし，この制御切替えでは，観測地点で地震動が分析され除振装置の制御が切替わってから，実際に地震動が到達するまでに時間差があった。この時間差を小さくすることを本論文の目的とする。